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名称:MKY4376 硼微晶玻璃片状扩散源

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MKY4376 硼微晶玻璃片状扩散源

硼微晶玻璃是一种硼-铝-硅系统的微晶玻璃,它具有耐高温,高强度,冷热急变和电性能好等特点。主要应用于半导体工业,作为半导体器件和大规模集成电路扩散工业中的硼掺杂源,具有均匀性,重复性,一致性好的优点。

1.品种:

        A PWB1(淡硼)            BPWB2(浓硼)

2.规格

直径φ(mm) 40±1.0 45±1.0 50±1.0 76.2±1.0 100±1.0

厚度

(mm)

PwB1 1.5±0.1 1.5±0.1 1.5±0.1 3.0±0.2 4.0±0.2
Pwb2 2.0±0.1 2.0±0.1 2.0±1.0 3.0±0.2

4.0±0.2

 

    其他规格可根据用户要求生产

3.最高使用温度1050摄氏度。

4.产品质量符合Q/YQDT3-92标准。